P66一維X軸壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅(qū)動源并采用直驅(qū)式驅(qū)動機(jī)構(gòu)，是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位 系統(tǒng)。可以通過疊加組合的方式組成二、三維壓電納米定位臺，實現(xiàn)XYZ軸34μm的位移行程，可選擇內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)納米級 精密定位控制。產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。

典型應(yīng)用

•  干涉/ 掃描 • 計量

• 質(zhì)量保證測試 • 微加工/精密控制

• 光盤驅(qū)動測試 • 半導(dǎo)體技術(shù)

應(yīng)用實例：原子力探針掃描顯微鏡

芯明天P66.XY壓電納米定位臺以其高響應(yīng)頻率、高精度、高可 靠性等優(yōu)勢廣泛應(yīng)用于原子力探針掃描顯微鏡中。

特性：

• 大位34μm• 開環(huán)閉環(huán)可選 • 大承載5kg• 重復(fù)定位精，可達(dá)納米級• 亞毫秒響應(yīng)時間

1-3維平移臺

P66系列壓電納米定位臺包括X、XY、XZ、XYZ 多種規(guī)格型號，可以實現(xiàn)1-3維納米級精密運動與定 位。

開環(huán)與閉環(huán)版本可選

P66系列壓電納米定位臺可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版 本，閉環(huán)版本壓電納米定位臺內(nèi)部配有高分辨率及快 速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器（SGS），配備在驅(qū)動機(jī)構(gòu)的合 適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信 號。

傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該系列 納米定位臺可以實現(xiàn)滿行程0.05%的線性度與重復(fù) 度。

P66一維X軸壓電納米定位臺技術(shù)參數(shù);

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。